純水不溶性顆粒計數(shù)器廠家

電子級超純水顆粒計數(shù)器

　　1.方案背景：超純水，又稱UP水，電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水。

　　常用于集成電路工業(yè)中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。

　　2.方案目的：用液體顆粒計數(shù)器檢測超純水樣，并判定超純水固態(tài)懸浮粒子的大小和數(shù)量。以此來判定超純水是否合格。

　　3.檢測儀器： 液體顆粒計數(shù)器，采用第八代雙激光窄光傳感器，雙精密計量泵研發(fā)而成，是一種高精度、高靈敏度的檢測儀器，能夠準確測量超純水中的顆粒數(shù)量和大小。采用優(yōu)良的光學技術(shù)和數(shù)據(jù)處理算法，能夠快速、準確地完成檢測任務。

　　4.檢測步驟：取200mL超純水水樣；放置到儀器取樣位置；打開控制電腦，操作軟件；設置5秒鐘檢測一次；重復測樣4次，取掉第一次檢測數(shù)據(jù)，取后3組數(shù)據(jù)平均值作為檢測結(jié)果；輸出數(shù)據(jù)結(jié)果。

　　5.結(jié)果解讀與判定

　　通過液體顆粒計數(shù)器檢測得到的數(shù)據(jù)，可以直觀地反映超純水的純凈度。根據(jù)行業(yè)標準和企業(yè)要求，可以對檢測結(jié)果進行解讀和判定，從而確定超純水是否滿足清洗晶圓的需求。

　　6.注意事項

　　在使用液體顆粒計數(shù)器進行超純水檢測時，需要注意以下幾點：

　　首先，要確保儀器的準確性和穩(wěn)定性，定期進行校準和維護；

　　其次，要遵循正確的操作流程，避免誤操作和誤差的產(chǎn)生；

　　最后，要及時記錄和分析檢測結(jié)果，以便及時發(fā)現(xiàn)問題并采取相應的措施。

　　7.定期監(jiān)測與評估

　　為了保障超純水質(zhì)量的持續(xù)穩(wěn)定，需要定期對超純水進行監(jiān)測和評估。通過定期使用液體顆粒計數(shù)器進行檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潛在問題。

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